Решения для чистого помещения в полупроводниковой и электронической промышленности

• Экстремальные требования к чистоте: Доминируют классы ISO 5-7 (класс 100-10.000), с передовыми зонами упаковки, требующими ISO 4 (класс 10) для контроля частиц ≥ 0,1 мкм.
• Многомерное управление: одновременно управлять температурой (20-24°C±0,1°C), влажностью (40-50%±2%), вибрацией (≤50μm/s) и статическим электричеством (≤100V).
• Международные стандарты: Должен соответствовать SEMI S2, ISO 14644 и GMP для электроники, с строгими требованиями к изоляции процесса между различными этапами производства.

• Иерархия фильтрации: предварительный фильтр (G4) + фильтр средней эффективности (F9) + фильтр низкой эффективности (H13) + терминальный фильтр ULPA (эффективность 99,999% для частиц ≥ 0,12 мкм).
• Проектирование воздушного потока: полный охват однонаправленного потока (0,45 м/с ± 20%) в центральных районах, со скоростью изменения воздуха до 500 раз в час.
• Контроль давления: Различие давления на склоне (≥ 5Pa между соседними зонами) для предотвращения перекрестного загрязнения.

• Управление материалами: воздушные шлюзы для поступающих материалов, специальные процедуры распаковки и очистки, и сверхчистая вода (18,2 МΩ·см) с TOC ≤10ppb.
• Обработка поверхности: Сварные стены из нержавеющей стали (304/316L), бесшовные полы из ПВХ и уплотнители без силикона.
• Химический контроль: Местные выхлопные системы для процессов гравирования с эффективностью удаления кислотных газов ≥99%.

• Интеллектуальный мониторинг: счетчики частиц в режиме реального времени, датчики температуры/влажности и централизованные системы управления на основе Интернета вещей.
• Оптимизация энергии: установки рекуперации тепла (сбережение энергии ≥ 30%), вентиляторы с переменной частотой и светодиодные осветительные приборы для чистых помещений.
• Протоколы обслуживания: Ежеквартальные испытания целостности фильтров HEPA/ULPA, ежемесячная проверка скорости воздушного потока и ежегодная всеобъемлющая проверка эффективности.

• Миниатюризация: Развитие в направлении ISO 3 (класс 1) чистых помещений для адаптации к 3nm и меньшим узлам процесса.
• Зеленые инновации: Принятие материалов с низким содержанием ВОК и интеграция возобновляемых источников энергии.
• Цифровая трансформация: ИИ-ориентированное предсказательное обслуживание и цифровые близнецы для виртуального ввода в эксплуатацию.

Полупроводниковые чистые помещения требуют баланса между крайней чистотой, стабильностью процесса и операционной эффективностью.и интеллектуальные системы управления, эти критически важные объекты поддерживают производство высокопроизводительных электронных компонентов.