Решения для чистого помещения в полупроводниковой и электронической промышленности

Уникальные требования и стандарты​

• Требования к экстремальной чистоте: Преобладание классов ISO 5-7 (класс 100-10 000), с передовыми зонами упаковки, требующими ISO 4 (класс 10) для контроля частиц ≥0,1μм.​

• Многомерный контроль: Одновременное управление температурой (20-24℃±0,1℃), влажностью (40-50%±2%), вибрацией (≤50μм/с) и статическим электричеством (≤100В).​

• Международные стандарты: Должны соответствовать SEMI S2, ISO 14644 и GMP для электроники, со строгими требованиями к изоляции процессов между различными этапами производства.​

Основные решения​

Система очистки воздуха​

• Иерархия фильтрации: Предварительный фильтр (G4) + фильтр средней эффективности (F9) + суб-высокоэффективный фильтр (H13) + конечный ULPA-фильтр (эффективность 99,999% для частиц ≥0,12μм).​

• Конструкция воздушного потока: Полное покрытие однонаправленным потоком (0,45 м/с±20%) в основных зонах, с частотой воздухообмена до 500 раз в час.​

• Контроль давления: Перепад давления (≥5 Па между смежными зонами) для предотвращения перекрестного загрязнения.​

Меры по контролю загрязнения​

• Управление материалами: Шлюзы для поступающих материалов, специальные процедуры распаковки и очистки, а также сверхчистая вода (18,2 МОм·см) с TOC ≤10ppb.​

• Обработка поверхности: Сварные стены из нержавеющей стали (304/316L), бесшовные полы из ПВХ и герметики без силикона.​

• Контроль химических веществ: Местные вытяжные системы для процессов травления с эффективностью удаления кислотных газов ≥99%.​

Стратегии бережливого производства​

• Интеллектуальный мониторинг: Счетчики частиц в реальном времени, датчики температуры/влажности и централизованные системы управления на основе IoT.​

• Оптимизация энергопотребления: Установки рекуперации тепла (энергосбережение ≥30%), вентиляторы с регулируемой частотой и светодиодное освещение чистых помещений.​

• Протоколы технического обслуживания: Ежеквартальное тестирование целостности фильтров HEPA/ULPA, ежемесячная проверка скорости воздушного потока и ежегодная комплексная проверка производительности.​

Будущие тенденции​

• Миниатюризация: Развитие в направлении чистых помещений ISO 3 (класс 1) для адаптации к технологическим узлам 3 нм и меньше.​

• Зеленые инновации: Применение материалов с низким содержанием ЛОС и интеграция возобновляемых источников энергии.​

• Цифровая трансформация: Прогнозирующее техническое обслуживание на основе ИИ и цифровые двойники для виртуального ввода в эксплуатацию.​

Чистые помещения для полупроводников требуют баланса между экстремальной чистотой, стабильностью процесса и операционной эффективностью. Интегрируя передовые технологии фильтрации, точный контроль окружающей среды и интеллектуальные системы управления, эти критически важные объекты поддерживают производство высокопроизводительных электронных компонентов.