Последний корпоративный кейс о Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Сертификации

А.полупроводниковые чистые помещенияявляется высококонтролируемой средой, предназначенной для минимизации загрязнения во время производства микрочипов, интегральных схем и других электронных компонентов.Потому что даже микроскопические частицы могут вызвать дефекты или потерю урожая, чистые комнаты незаменимы для высокоточного изготовления полупроводников.

• Сверхнизкая концентрация частиц(класс ISO 1?? 9)

• Точный контроль температуры и влажности(до ±0,1 °C)

• Передовые системы фильтрации воздуха(фильтры HEPA и ULPA)

• Защита от электростатического разряда (ESD)

Эти объекты соответствуют международным стандартам, таким какISO 14644-1для классификации чистых помещений иSEMI S2 / SEMI S8для безопасности и эргономики оборудования.

Производство полупроводников обычно требуетКласс ISO 1?? 5среды, в зависимости от чувствительности процесса:

• SEMI стандарты: Определить совместимость оборудования и эксплуатационную надежность (например,SEMI F47для иммунитета к понижению напряжения).

• Федеральный стандарт 209E (Legacy): Бывший стандарт США по чистым помещениям, теперь замененный ISO 14644.

• Однонаправленный (линейный) воздушный поток: Вертикальные или горизонтальные схемы воздушного потока, которые непрерывно уводят частицы из критических зон процесса.

• Высокоэффективные системы рециркуляции: Обычно более 90% воздуха перерабатывается посредством многоступенчатой фильтрации HEPA/ULPA.

Требования к одежде

• Класс ISO 1?? 3: полные кроличьи костюмы с масками, очками и перчатками

• Класс ISO 5?? 6: Частичные одежды, такие как капоты и перчатки

Материальные ограничения

• Использованиематериалы с низким уровнем выбросов, не сбрасывающиетакие как нержавеющая сталь, анодированный алюминий и PTFE

• Избегание использования пластмасс или тканей, генерирующих частицы

• Устойчивость пола: Изолированная конструкция плиты с минимальными ограничениями вибрации:1 ‰ 2 мкм, поIEST-RP-CC012

• Защита от электромагнитных помех: Защищает чувствительные литографические и метрологические инструменты от наружного электрического шума

ОдинЧастицы 20 мкмможет уничтожитьСтруктура транзистора 5 нмЧистые комнаты значительно снижают:

• Потеря урожая (которая может превышать50%в неконтролируемой среде)

• Риски перекрестного загрязнения, такие как непреднамеренная диффузия ионов металлов

• Сокращение времени простоя: Чищее окружение приводит к сокращению дефектов пластинок и циклов переработки

• Соблюдение нормативных требований: поддерживает такие стандарты, как:IEEE 1680для устойчивого и ответственного производства электроники

Полупроводниковые чистые помещениясреды с точностью проектированияОни являются основой современного производства чипов.Стандарты ISO, SEMI и IEST, чистые помещения позволяют изготавливать нанометровые изделия с минимальными дефектами и максимальной производительностью.

Поскольку геометрия полупроводников продолжает сокращаться, технологии чистых помещений быстро развиваются.Наблюдение за частицами на основе ИИ,Интеллектуальные экологические средства контроля, имодульные системы чистых помещений.

Для производителей полупроводников инвестиции в сертификацию техники чистых помещений не являются необязательными, они необходимы для поддержания инноваций, качества и глобальной конкурентоспособности.