Последний корпоративный кейс о Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Сертификации

В высокопроизводительных отраслях промышленности, таких как полупроводниковое производство, биомедицина и точная электроника, экологическая стабильность в чистой комнате напрямую определяет урожайность продукции, последовательность процесса,и надежность исследований.

Для удовлетворения все более строгих требований контроляMAU + FFU + DCC (устройство для очистки воздуха + устройство фильтра вентилятора + устройство сухой катушки)Благодаря многослойной обработке воздуха и интеллектуальной координации эта система обеспечивает точное управлениетемпература, влажность, чистота и давление, при этом значительно повышая энергоэффективность и гибкость эксплуатации.В этой статье систематически объясняются ключевые технологии управления, лежащие в основе системы MAU + FFU + DCC, и иллюстрируется, как многомерная координация создает устойчивую, высокопроизводительная чистая комната.

Система MAU + FFU + DCC используетиерархическая стратегия очистки воздуха, где каждая подсистема выполняет специальную функцию:

• Первичное регулирование температуры и влажности
• Многоступенчатая фильтрация G4 + F8
• Стабильное снабжение кондиционированным наружным воздухом

• Фильтрация HEPA или ULPA
• Однонаправленная подача воздушного потока
• Поддерживает среды ISO класса 5 и ISO класса 1

• Подстрижка местной температуры
• Быстрая компенсация тепловых нагрузок оборудования
• Обеспечивает равномерное распределение комнатной температуры

Вместе, этоПреобразование → очистка → тщательный контроль"архитектура обеспечивает большую точность, гибкость и энергоэффективность, чем традиционные централизованные системы HVAC.

Температурные колебания являются критическим риском в высокоточном производстве.00,1°Cможет повлиять на выравнивание шаблона.

Система MAU + FFU + DCC обеспечивает управление температурой на нескольких уровнях:

MAU Первичный регламент

• Адаптивное управление PID нагревательных и охлаждающих катушек
• Температурная стабильность свежего воздуха в пределах±0,5°C
• Динамическая реакция на изменения нагрузки

FFU Оптимизация воздушного потока

• Единообразное матричное расположение
• Типичная скорость лица:00,3 ≈ 0,5 м/с
• Уменьшает тепловое стратификацию и местные горячие точки

DCC Компенсация тепла в реальном времени

• Цель - тепло от литографических инструментов, биореакторов, оборудования для гравирования
• Настраивает поток охлажденной воды мгновенно
• Сохраняет равномерность комнатной температуры в пределах± 0,2°C

Ссылка на дело
12-дюймовый полупроводниковый завод± 0,1°CУстойчивость в помещении после осуществления координированного контроля MAU-DCC, улучшение производительности литографии примерно на3%.

Влажность напрямую влияет на электростатический разряд, коррозию, рост микробов и стабильность процесса.

MAU ️ Основная влажность

• Увлажнители пара или электродов
• Конденсация или ротационная обезвоживание
• Точность управления до± 2% RH

Пример:В цехах липосушки обычно требуется30~40% RHчтобы предотвратить поглощение влаги.

ФФУ ∆ Единое распределение

• Устраняет застойные зоны и тупые углы
• Предотвращает локальное накопление высокой влажности

Координация МАУ + DCC

• MAU контролирует абсолютную влажность
• DCC регулирует температуру катушки
• Температура поверхности катушки поддерживается1°2°C выше точки росычтобы избежать конденсации

Чистота остается основным показателем эффективности любого чистой комнаты.

Предварительная фильтрация MAU

• Первичный фильтр G4
• Фильтр средней эффективности F8
• Удаляет большие частицы и защищает срок службы FFU

Терминальная фильтрация FFU

• HEPA: ≥ 99,97% @ 0,3 мкм
• ULPA: ≥ 99,999% @ 0,12 мкм
• Поддерживает ISO класс 5 и выше

Организация воздушного потока

• Вертикальный однонаправленный поток
• Покрытие FFU:60 ‰ 100%
• Создает устойчивый эффект поршня, толкает загрязнители в сторону обратной воздушной решетки

Ссылка на производительность
В0.45 м/сскорость воздушного потока, концентрация частиц ≥ 0,5 мкм может быть уменьшена до
< 35 частиц/фт3 (класс ISO 5).

Положительное давление гарантирует, что чистые зоны остаются защищенными от внешнего загрязнения.

Контроль объема свежего воздуха (MAU)

• Датчики дифференциального давления контролируют давление в помещении
• Типичная разница давления:10 ‰ 30 Pa

Иерархическое зонирование

• Между зонами класса 5 и 7 ISO
• Градиент давления:5 ‰ 10 Pa

Аварийная защита

• Автоматическая сигнализация при падении давления
• Запасные вентиляторы немедленно активируются
• Предотвращает загрязнение при аномальных условиях

Современные системы MAU + FFU + DCC интегрируют интеллектуальную автоматику для точности и эффективности.

• Мониторинг в реальном времени более 30 параметров
• Анализ тенденций и хранение исторических данных
• Централизованная система визуализации

При запуске высокогрузного инструмента система автоматически:

• Увеличивает емкость охлаждающей катушки
• Увеличивает выход DCC
• Восстанавливает экологическую стабильность в пределах10 секунд.

Постоянный мониторинг:

• ФФУ тока двигателя
• Падение давления фильтра
• Производительность катушки DCC

Позволяет на ранней стадии выявлять:

• Моторное старение
• Затишье фильтра
• Аномальное сопротивление воздушного потока

Оптимизация, основанная на ИИ, регулирует:

• Операционное количество FFU
• Соотношение свежего воздуха
• Соответствие температуры и влажности нагрузки

В результате20-30% экономии энергии, особенно на крупных заводах полупроводников.

• МОУ:испытание инвертора, сопротивление фильтра, реакция T/H
• ФФУ:единообразие воздушного потока (± 10%), испытание на утечку HEPA, шум ≤ 65 дБ
• ДЦК:точность потока воды (± 5%), проверка теплообмена

• Симуляция экстремальных условий
• Высокоточные счетчики частиц (0,1 мкм)
• Более 50 точек мониторинга с 10-секундным записью

• Переменное управление ФФУ при работе с частичной нагрузкой
• Типичные циклы замены фильтра:
  • Первичная: 1 ≈ 3 месяца
  • Средний срок: 6-12 месяцев
  • HEPA: 2-3 года

Это...MAU + FFU + DCCСистема чистых помещений представляет собой переход от базового соответствия к интеллектуальному, гибкому экологическому контролю.

Через скоординированное управление температурой, влажностью, чистотой,и давления, поддерживаемые передовой автоматизацией и прогнозной аналитикой, эта архитектура обеспечивает стабильность и точность, необходимые для производства полупроводников., биотехнологии и других высокотехнологичных приложений.

Как профессиональный поставщик инженерных решений для чистых помещений, мы предлагаем:

• Проектирование системы
• Выбор оборудования
• Интеллектуальная интеграция управления
• Ввод в эксплуатацию и оптимизация
• Поддержка полного жизненного цикла

Если вы планируете или модернизируете высокоточную чистую комнату, наша инженерная команда готова помочь вам достичьэффективность контроля окружающей среды мирового класса.