В эпоху быстрого технологического развития квантовые чипы, как основные компоненты в области передовых технологий, имеют чрезвычайно строгие требования к производственной среде.Guangzhou Cleanroom Construction Co.., Ltd., профессиональный производитель очистительного оборудования с многолетним опытом работы в отрасли, сегодня представит процесс строительства чистых помещений для производства квантовых чипов.
1. Предпроектное планирование и анализ потребностей
Первый шаг в создании чистой комнаты для квантовых чипов имеет большое значение.Из литографии на чипах, гравирование, осаждение на упаковке и другие процессы, разные этапы имеют разные требования к параметрам окружающей среды, таким как температура, влажность, количество частиц пыли,и электростатического управления. тесно общаться с предприятиями по производству микросхем. основываясь на их производственном масштабе и технических маршрутах, точно определить площадь и планировку мастерской,и планировать направления потока персонала, материалов и продуктов, чтобы обеспечить, чтобы три потока не мешали друг другу и избегали перекрестного загрязнения, создавая прочную основу для эффективного производства в будущем.
2. Определение уровня очистки
Производство квантовых чипов обычно требует чрезвычайно высокого уровня очистки, обычно класса ISO 3 или даже выше.1 микрометр на кубический метр воздуха должен строго контролироваться до однозначных цифрВ соответствии с точностью процесса производства чипа, определите уровни очистки различных областей, таких как литография и сверхчистая область испытаний.чтобы настроить очистное оборудование, предназначенное для, что гарантирует, что чип не будет нарушен пылевыми примесями на микроуровне и гарантирует уровень урожайности чипа.
3Архитектурные конструкции
Архитектурная структура мастерской должна быть адаптирована к требованиям очистки. Стены, полы и потолки должны быть воздухонепроницаемыми, гладкими, легко очищаемыми,и антистатические материалыДля стен можно выбрать цветные покрытые стальные плиты с бесшовными соединениями; для пола можно использовать эпоксидную самовыровняющую плиту, которая устойчива к износу, коррозии и антистатической.;потолок спроектирован таким образом, чтобы он был доступен людям, что удобно для последующего обслуживания оборудования.Для обеспечения единообразного подачи воздуха и стабильного и долговременного эффекта очистки устанавливаются высокоэффективные фильтры частиц воздуха (HEPA) и фильтры сверхнизкого проникновения воздуха (ULPA)..
4Выбор и установка системы очистки воздуха
Это основное звено, состоящее из кондиционеров, каналов подачи и возвращения воздуха, фильтров и т.д.увлажнение, обезвоживание и фильтрация воздуха, точно регулируя температуру и влажность с очень маленьким диапазоном ошибок.Воздушные каналы подачи и возврата должны быть разумно спланированы в соответствии с планировкой мастерской., и высококачественные оцинкованные стальные листы используются для обеспечения герметичности воздуха и предотвращения утечки воздуха, в результате чего очистка оказывается неэффективной.Первичный фильтр удаляет большие частицы пыли, фильтр средней эффективности дополнительно очищает воздух,и высокоэффективные и сверхвысокоэффективные фильтры обеспечивают почти стерильный и свободный от пыли сверхчистый воздух для области производства чипов.
5Электростатический и микровибрационный контроль
Квантовые чипы чрезвычайно чувствительны к статическому электричеству. Professional electrostatic elimination equipment such as ion fans and electrostatic grounding systems are equipped in the workshop to ensure that the electrostatic potential is within the safe thresholdВ то же время, учитывая микровибрации, порождаемые работой оборудования и движением персонала, от основания здания принимаются конструкции, сдерживающие удар. and shock - absorbing pads are also equipped for equipment installation to prevent the micro - vibrations from being transmitted and affecting the accuracy of precision processes such as chip lithography.
6Поддержка систем водоснабжения, электроснабжения и газа
Устойчивое и надежное снабжение водой, электричеством и газом является гарантией работы мастерской.удовлетворение потребностей процессов, таких как очистка и гравирование, и качество воды достигает стандарта сверхчистой воды электронного класса.оборудованы бесперебойным источником питания (UPS) для борьбы с внезапными отключениями электроэнергии и обеспечения непрерывной работы ключевого оборудованияГазовая система точно распределяет специальные газы, такие как азот и аргон. Трубопроводы строго запечатаны и очищены, чтобы предотвратить загрязнение газа, влияющее на качество чипа.
7Установка оборудования и пуск в эксплуатацию
Очистительное оборудование и производственное оборудование устанавливаются последовательно.,После установки осуществляется совместное ввод в эксплуатацию. Симулируются условия производства, всесторонне проверяется эффект очистки, контроль температуры и влажности,и оборудования с перекрытием, и неоднократно корректировать параметры, пока все показатели не отвечают требованиям к конструкции, создавая идеальную производственную среду для формального производства квантовых чипов.
Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. со своей профессиональной командой и передовыми технологиями контролирует каждую деталь процесса строительства чистых помещений для квантовых чипов,Помощь предприятиям квантовых технологий достичь более высокого уровня и начать новый путь массового производства квантовых чиповЕсли у вас есть требования к строительству чистых помещений, пожалуйста, свяжитесь с нами. Давайте вместе создадим технологическое будущее!