В области полупроводников технологическая революция, обусловленная новыми материалами, идет вперед.открыл новые пути для исследования и разработки высокопроизводительных полупроводниковых устройств с его превосходными свойствамиОднако для того, чтобы превратить его из лабораторных достижений в крупномасштабное промышленное производство, необходима чистая комната без пыли, которая соответствует его характеристикам.., Ltd. , которая много лет активно работает в очистной отрасли,приведет вас к всестороннему пониманию ключевых пунктов в строительстве без пыли чистых помещений для синих полупроводников галлиевого оксида сегодня.

I. Строгий контроль уровня очистки

Производственный процесс полупроводников из окиси галлия очень чувствителен к таким примесям, как пыль и микроорганизмы.и гравирование, даже крошечные частицы "смешиваются" могут вызвать короткое замыкание в чипах, ухудшение производительности и значительное снижение скорости получения.уровень очистки мастерской обычно должен достигать стандартов класса 10 или даже выше.Это означает, что количество пылевых частиц с размером частиц более 0,5 микрометра в каждом кубическом метре воздуха строго контролируется в пределах 10.Гуанчжоу Кунлинг внедряет передовые международные технологии фильтрации воздухаОт первичной фильтрации для снятия больших частиц пыли до фильтрации средней эффективности для улавливания средних примеси.а затем с помощью высокоэффективных фильтров воздуха для твердых частиц (HEPA) и фильтров воздуха с ультранизким проникновением (ULPA) для "экранного" слоя за слоем, он гарантирует, что воздух, входящий в мастерскую, почти свободен от примесей, создавая чистую основу для высокоточного производства.

II. Точный контроль температуры и влажности

Электрические свойства и стабильность кристаллической структуры полупроводниковых материалов оксида галлия значительно варьируются при различных температурах и влажности.Подходящий температурный диапазон обычно устанавливается в пределах от 22 до 25 °CВ цехе установлена интеллектуальная система контроля температуры и влажности.С помощью высокоточных датчиков, отслеживающих данные об окружающей среде в режиме реального времениКогда температура поднимается в жаркие летние дни, он может использоваться для ухода за собой.Модуль охлаждения работает эффективно для охлаждения; когда зимой сухо, увлажняющее оборудование распыляет точно, чтобы увеличить влажность;создание "микроклимата" с постоянной температурой и влажностью для поддержания материалов и оборудования оксида галлия в оптимальном рабочем состоянии и снижения риска отклонений процесса.

III. Тщательные антистатические меры

В полупроводниковой обработке статическое электричество является "скрытым убийцей".и явление разряда, вызванное статическим электричеством может легко разрушить транзисторы и повреждения чиповПолы изготовлены из антистатического ПВХ или эпоксидного самонивелирующегося напольного покрытия.с поверхностным сопротивлением, строго контролируемым в диапазоне 10^6 - 10^9 ом, чтобы быстро рассеивать статическое электричествоОборудование и рабочие столы оснащены статическими элиминаторами, и ионные вентиляторы непрерывно выдувают положительные и отрицательные ионы для нейтрализации зарядов.Операторы носят антистатическую рабочую одежду и обувные покрытия, будучи полностью "вооруженными" для устранения скрытых опасностей накопления статического электричества и разряда от источника и защиты целостности продуктов.

IV. Научное планирование вентиляции и организации воздушного потока

Хорошая вентиляция в мастерской может не только обеспечить свежий воздух, но и помочь выпустить отработанные газы и рассеять тепло для охлаждения.используется комбинация форм распределения воздуха с однонаправленным потоком и турбулентным потокомВ области литографии вертикальный однонаправленный поток с стабильной скоростью потока (0,3 - 0,5 метра в секунду) точно выносит пыль; в таких областях, как хранение и сборка материалов,вентиляция турбулентного потока установлена для эффективной замены воздухаМатериалы для вентиляционных каналов выбираются с учетом предотвращения пожара, ржавчины и низких показателей утечки воздуха. Fans are accurately selected according to the scale of the workshop and the frequency of air changes to ensure that the air volume and air pressure are suitable and maintain the orderly flow of air and dilute the concentration of harmful substances.

V. Соответствующее устройство технологического оборудования

Процесс приготовления глубокого синего оксида галлия сложен, а литографические машины, машины для гравирования, оборудование для химического осаждения паров и т. д. различаются по размеру, весу,и имеют особые требования к вибрации во время работы и рассеиванию теплаРазмещение мастерской соответствует принципу "гладости процесса и невмешательства между оборудованием".и тяжелое оборудование размещается в местах с хорошей грузоподъемностью и отличной амортизацией ударовКаналы рассеивания тепла зарезервированы и устройства охлаждения установлены в соответствии с кривыми рассеивания тепла оборудования.Интервалы между соседствующими оборудованиями разумны для облегчения технического обслуживания, эксплуатация и отладка, что позволяет эффективное соединение оборудования и стабильное производство высококачественных полупроводниковых продуктов.

VI. Усовершенствование управления и подготовки персонала

Люди являются ключевым фактором в работе мастерской, но они также являются потенциальным источником загрязнения.Персонал, входящий в чистое помещение без пыли для окиси галлия темно-синего цвета, должен пройти строгий процесс перевязки, от удаления пыли в воздушном душе до ношения стерильной защитной одежды, масок и перчаток, слой за слоем для очистки.Профессиональное обучение регулярно проводится для укрепления знаний сотрудников о полупроводниковых процессах, нормы работы в чистых помещениях и способность реагировать на чрезвычайные ситуации.Новые сотрудники получают практическое руководство от опытных коллег, чтобы овладеть деталями обработки материалов и эксплуатации оборудования, уменьшая вероятность загрязнения продукта и повреждения, вызванного человеческими ошибками.

Участие в строительстве безпыльных чистых помещений для полупроводников галлиевого оксида в темно-синем цвете является и вызовом, и возможностью. , Ltd. опирается на свой богатый опыт работы над проектом, профессиональную техническую команду и высококачественные очистные продукты для настройки односторонних решений на протяжении всего процесса.строительство до последующей эксплуатации и обслуживания, мы будем прилагать конкретные усилия, чтобы помочь предприятиям захватить высокие позиции в глубокой синей отрасли оксида галлия.Если вы планируете такой проект мастерской или у вас есть вопросы о деталях строительства, пожалуйста, не стесняйтесь связаться с нами немедленно и давайте работать вместе, чтобы создать новую модель чистого полупроводникового производства.