Последний корпоративный кейс о Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. Сертификации

В передовой области производства полупроводников любое незначительное изменение производственной среды может оказать решающее влияние на качество продукции. Как профессиональный производитель с многолетним опытом работы в индустрии оборудования для очистки, компания Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. глубоко понимает ключевую роль контроля перепада давления воздуха в чистых помещениях для полупроводников. Сегодня мы всесторонне проанализируем решения по контролю перепада давления воздуха для чистых помещений для полупроводников, помогая вам создать стабильную и эффективную производственную среду.

Производственный процесс полупроводниковых чипов чрезвычайно деликатен. Если в него попадут такие загрязнители, как частицы пыли и микроорганизмы, это может вызвать серьезные проблемы, такие как короткие замыкания и обрывы цепей в чипах. Возьмем, к примеру, процесс литографии передовых чипов. Ширина линий на чипах достигла нанометрового уровня. Частица пыли диаметром всего 0,1 микрометра достаточна для отклонений в рисунке литографии, что приводит к браковке чипов. Разумно построив перепад давления воздуха и поддерживая чистое помещение в состоянии положительного давления, можно эффективно блокировать внешние загрязнители, создавая невидимый защитный барьер для производства чипов.

Производство полупроводников включает в себя множество сложных процессов, таких как литография, травление и легирование. Каждый процесс имеет разные требования к температуре окружающей среды, влажности и чистоте. Стабильный перепад давления воздуха может гарантировать, что параметры окружающей среды каждой области всегда поддерживаются в пределах, требуемых процессом, обеспечивая надежную гарантию бесперебойного хода процесса. В процессе травления, если воздушный поток нестабилен, распределение травильного газа будет неравномерным, что приведет к несоответствию скоростей травления и серьезно повлияет на точность травления и качество продукции чипов.

• Основная производственная зона: В этой зоне выполняются ключевые процессы, такие как литография, травление и легирование. Здесь требования к чистоте и положительному давлению чрезвычайно высоки. Рекомендуется, чтобы давление в основной производственной зоне было на 15–25 Па выше, чем в смежных вспомогательных зонах, что минимизирует риск проникновения внешних загрязнителей и гарантирует, что процесс производства чипов не будет нарушен загрязнением.
• Вспомогательная производственная зона: Вспомогательные зоны, такие как зона временного хранения материалов и зона технического обслуживания оборудования, хотя требования к чистоте немного ниже, чем в основной производственной зоне, все равно должны поддерживать определенное положительное давление. Как правило, оно на 5–10 Па выше, чем в таких зонах, как обычные коридоры, чтобы предотвратить попадание загрязнителей в коридорах во вспомогательную зону и угрозу окружающей среде основной производственной зоны.
• Проходы для персонала и материалов: Для проходов, через которые персонал и материалы входят и выходят из цеха, необходимо тщательно установить разумный градиент перепада давления, чтобы сформировать эффективный эффект воздушного шлюза. При входе в чистую зону из нечистой зоны давление постепенно увеличивается с каждой пройденной дверью, действуя как слои контрольно-пропускных пунктов, эффективно блокируя попадание загрязнителей в чистое помещение вместе с персоналом и материалами.

• Высокоточные датчики давления: Высокоточные датчики давления, разработанные компанией Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd., обладают отличными характеристиками. Их точность измерения может достигать ±0,1 Па, что позволяет точно фиксировать изменения давления в каждой зоне цеха в режиме реального времени, гарантируя, что аномальные колебания давления будут обнаружены немедленно, и обеспечивая прочную основу для принятия своевременных контрмер.
• Интеллектуальная система управления вентиляцией: Эта система тесно связана с высокоточными датчиками давления. В соответствии с заданными значениями перепада давления она может автоматически и точно регулировать скорость вращения вентилятора и открытие клапана, обеспечивая интеллектуальное и точное управление воздушным потоком. Как только система обнаруживает, что давление в определенной области ниже заданного значения, она быстро реагирует, автоматически увеличивая объем подачи воздуха или уменьшая объем вытяжки воздуха, чтобы быстро восстановить давление до нормального уровня.

Строго калибруйте датчики давления каждые шесть месяцев, чтобы обеспечить точность и надежность данных измерений. В то же время регулярно проводите комплексную проверку вентиляционного оборудования, тщательно проверяйте, изношены ли крыльчатки вентиляторов, могут ли клапаны открываться и закрываться нормально и т. д., и своевременно заменяйте устаревшие или поврежденные компоненты, чтобы гарантировать, что оборудование всегда находится в наилучшем рабочем состоянии.

Проводите систематическое обучение персонала цеха по вопросам контроля перепада давления воздуха, позволяя им глубоко понимать значение контроля перепада давления и методы устранения нештатных ситуаций. При возникновении сигнала тревоги о перепаде давления персонал может быстро проанализировать возможные причины, такие как неисправности оборудования и утечки в трубопроводах, и своевременно принять эффективные контрмеры для обеспечения непрерывности и стабильности производства в цехе.

Создайте профессиональную систему мониторинга данных о перепаде давления воздуха и проведите углубленный анализ накопленных данных о давлении за длительный период времени. Благодаря анализу данных можно четко выявлять потенциальные проблемы. Например, если давление в некоторых областях часто колеблется, это может быть связано с неисправностями оборудования или неразумным распределением воздуха, после чего можно внести целевые корректировки для постоянного улучшения решений по контролю перепада давления воздуха.

Обладая глубоким техническим опытом и богатым опытом реализации проектов, компания Guangzhou Cleanroom Construction Co., Ltd. может не только предоставить высококачественное оборудование для очистки, но и настроить полный спектр решений по контролю перепада давления воздуха и предоставить комплексные услуги после технического обслуживания для вашего чистого помещения для полупроводников. Если вы планируете построить чистое помещение для полупроводников или столкнулись с соответствующими проблемами во время работы существующего цеха, пожалуйста, свяжитесь с нами. Давайте вместе создадим ведущую в отрасли среду чистого производства полупроводников и внесем вклад в развитие полупроводниковой промышленности.